TFX-R3———光學(xué)膜厚量測設(shè)備

l 可量測多種材料薄膜

l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應(yīng)力測量

l 輸出產(chǎn)能高，具有較高的性價比

l 光斑尺寸更小

l 可量測范圍更寬廣，超厚膜和超薄膜量測能力更穩(wěn)定

l 全新橢圓偏振光路設(shè)計(jì)

l 機(jī)械運(yùn)動性能可靠，穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越

l 功能豐富、易用的軟件和算法

l 全面支持工廠自動化要求